|
¡ß Description
°¡½ºÁ¦°Å ÇÊÅÍ ¼º´É ½ÃÇèÀåÄ¡.
´Ù¾çÇÑ FilterÀÇ Air¿¡ Æ÷ÇԵǾîÀÖ´Â À¯ÇØ°¡½º Á¦°Å ¼º´É ½ÇÇèÀ» ÇÏ´Â ÀåÄ¡.
¾Æ¼¼Åæ,Åç·ç¿£,º¥Á¨ µîÀÇ °¡½º¹ß»ýÀåÄ¡.
MFC control.
Filter Àü ÈÄ´Ü¿¡ ÃøÁ¤°¡½º¸¦ GC·Î º¸³¾ ¼ö ÀÖ°Ô ValveºÎÂø
Air À¯·® control. (100 cc/min ~ 2M3/min)
Differencial pressure meter
|